오존의 발생은 건조된 공기나 산소에 물리, 화학적인 자극으로 에너지를 가해 오존으로 변화 시

키는 것인데, 무성방전법, 전해법, 광화학법, 고주파 전계법, 방사선 조사법 등이 있으나

산업 쪽에서는 무성방전방식이 에너지 효율면, 성능의 안정성, 조작 및 제어의 편리성으

로 가장 널리 이용되고 있다.

무성방전법은 전극사이에 유리나 세라믹 같은 유전체를 끼우고 공기나 산소를 불어넣고 전극에 고압

(6kv～15kv)을 가하면 방전 공간에서 다음 반응에 의하여 오존이 발생된다.

O2 + e- → O + O + e-

O2 + e- → O3 +

O + O2 + M → O3 + M

O2 + O2 → O3 + O

무성방전법의 경우, 오존생성효율은 오존농도에 따라 틀려지지만 공기를 원료로 할 경

우, 10g～35g/㎥, 산소를 원료로 할 경우에는 50g～150g/㎥의 오존농도를 얻을 수 있다.